High-k-Dielektrikum
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Als High-k-Dielektrikum wird in der Halbleitertechnik ein Material bezeichnet, das eine höhere Dielektrizitätszahl aufweist als herkömmliches Siliciumdioxid (εr = 3,9) oder Siliciumoxinitride (εr < 6).
Die Bezeichnung „high-k“ ist dem Englischen entlehnt, wo die Dielektrizitätszahl häufig mit (Kappa), bei Fehlen dieses Symbols auch mit k, bezeichnet wird.