Trifluorure d'azote
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Le trifluorure d'azote est un composé inorganique de formule brute NF3. Ce composé azote-fluor est un gaz incolore, toxique, inodore, non inflammable. Il est de plus en plus utilisé comme graveur chimique en micro-électronique.
Faits en bref Identification, Nom UICPA ...
Trifluorure d'azote | |||
Identification | |||
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Nom UICPA | Trifluorure d'azote | ||
Synonymes |
trifluoramine |
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No CAS | 7783-54-2 | ||
No ECHA | 100.029.097 | ||
No CE | 232-007-1 | ||
SMILES | |||
InChI | |||
Apparence | gaz incolore, d'odeur caractéristique[1]. | ||
Propriétés chimiques | |||
Formule | F3NNF3 | ||
Masse molaire[2] | 71,001 9 ± 0,000 2 g/mol F 80,27 %, N 19,73 %, |
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Moment dipolaire | 0,235 ± 0,004 D[3] | ||
Propriétés physiques | |||
T° fusion | −208,5 °C[1] | ||
T° ébullition | −129,1 °C (144,05 K) (à 1 013 hPa) |
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Solubilité | dans l'eau : nulle[1] | ||
Masse volumique | 3,003 kg·m-3 (gaz à 24,85 °C et 1 013 hPa) |
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Thermochimie | |||
ΔvapH° | 11,56 kJ·mol-1 (1 atm, −128,75 °C)[4] | ||
Propriétés électroniques | |||
1re énergie d'ionisation | 13,00 ± 0,02 eV (gaz)[5] | ||
Précautions | |||
SIMDUT[6] | |||
A, D1A, A : Gaz comprimé température critique = −39 °C D1A : Matière très toxique ayant des effets immédiats graves létalité aiguë : CL50 inhalation/4 heures (souris) = 2 000 ppm Divulgation à 1,0 % selon la liste de divulgation des ingrédients |
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Directive 67/548/EEC | |||
Symboles : Xn : Nocif O : Comburant Phrases R : R8 : Favorise l’inflammation des matières combustibles. R20 : Nocif par inhalation. Phrases S : S9 : Conserver le récipient dans un endroit bien ventilé. S17 : Tenir à l’écart des matières combustibles. S23 : Ne pas respirer les gaz/fumées/vapeurs/aérosols [terme(s) approprié(s) à indiquer par le fabricant]. |
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Transport | |||
Code Kemler : 25 : gaz comburant (favorise l'incendie) Numéro ONU : 2451 : TRIFLUORURE D’AZOTE COMPRIMÉ Classe : 2.2 Étiquettes : 2.2 : Gaz ininflammables, non toxiques (correspond aux groupes désignés par un A ou un O majuscule); 5.1 : Matières comburantes |
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Unités du SI et CNTP, sauf indication contraire. | |||
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