איכול יבש
ויקיפדיה האנציקלופדיה encyclopedia
איכול יבש הוא שלב של הסרת שכבת חומר בייצור התקני מוליכים למחצה וצגים שטוחים, ומתבצע לאחר שלב הפוטוליתוגרפיה.
קיים לעומתו גם תהליך של איכול רטוב, שהוא איכול באמצעות נוזל מאכל, למשל חומצה הידרופלואורית עבור התקני סיליקון. איכול יבש מדויק יותר, אך איטי יותר ומשאיר פני שטח חלקים פחות מהאיכול הרטוב. לכן נהוג לטבול את הפרוסה באמבט של נוזל מאכל אחרי האיכול היבש.
תהליך האיכול היבש משמש לרוב לאיכול חומרים בעלי התנגדות כימית גבוהה, שאינם נוחים לאיכול רטוב (לעיתים קרובות חומצות לאיכול מתכות וחומרים בעלי התנגדות כימית נמוכה).
האיכול היבש מתבצע בשלוש שיטות, אשר בכולן מתנתקים חלקי החומר מהשכבה עליה הוא מונח: