MEMS
ויקיפדיה האנציקלופדיה encyclopedia
MEMS (ראשי תיבות של: Micro Electro Mechanical System, תרגום: "מערכת מיקרו אלקטרו-מכנית") היא משפחה של טכנולוגיות, חומרים ומעגלים משולבים ממוזערים ברמות מיקרו וננו (NEMS), המכילות רכיבים ומערכות אופטיות, אלקטרוניות ומכניות (MOEMS), וביולוגיות (Bio-MEMS).
פוטנציאל המכונות הממוזערות הובן שנים רבות לפני פיתוח הטכנולוגיה וביטוי לכך הובא בהרצאתו של פרופסור ריצ'רד פיינמן בשנת 1959 "יש שפע מקום בתחתית".
הטכנולוגיה הפכה למעשית כאשר אומצו טכנולוגיות ייצור מתחום המעגלים המשולבים בהם ריבוץ, אילוח, חמצון, דפיסה (Molding), ציפוי וטכנולוגיות מזעור ושילוב נוספות.