For faster navigation, this Iframe is preloading the Wikiwand page for Zonesmelten.

Zonesmelten

Uit Wikipedia, de vrije encyclopedie

Deze staaf monokristallijn silicium is het resultaat van zonesmelten.
Deze staaf monokristallijn silicium is het resultaat van zonesmelten.

Zonesmelten is een techniek om grote en zuivere eenkristallen van halfgeleidermaterialen, zoals silicium en germanium, te maken.

Een cilindrische staaf van het te verwerken materiaal wordt langzaam door een inductiespoel gevoerd, waarbij het gedeelte binnen de spoel partieel opsmelt. Dit wordt in een inerte omgeving (argon bij lage druk) uitgevoerd. Ook kunnen in de gasfase doteringsstoffen aangebracht worden om het materiaaltype (n- of p-type) en de geleidbaarheid te bepalen.

Aan de kant, waar de smelt de spoel verlaat, zal het materiaal volgens het al bestaande kristalrooster weer aangroeien. Hiervoor wordt aan het begin van de staaf vaak een entkristal aangebracht. Dit bepaalt de uiteindelijke kristaloriëntatie. Omdat de verontreinigingen de neiging hebben in het vloeibare gedeelte te blijven zal de concentratie van verontreinigingen naar achteren geduwd worden. Na een aantal herhalingen kan het verontreinigde gedeelte afgezaagd worden en blijft een zuiver kristal over.

In tegenstelling tot het Czochralski-proces, waarbij vanuit een kwartsglazen smeltkroes een kristalstaaf gegroeid wordt, komt er weinig zuurstof in het materiaal (meestal beneden de detectielimiet). Dit levert zeer zuiver materiaal op. Het nadeel hiervan is wel dat eventuele (metaal)verontreinigingen die nog in het materiaal zitten niet aan zuurstof gebonden worden (gettering).

De staaf eenkristal wordt vervolgens in plakken (zogenaamde wafers) gezaagd, waarop vervolgens door middel van fotolithografie geïntegreerde schakelingen worden aangebracht.

{{bottomLinkPreText}} {{bottomLinkText}}
Zonesmelten
Listen to this article

This browser is not supported by Wikiwand :(
Wikiwand requires a browser with modern capabilities in order to provide you with the best reading experience.
Please download and use one of the following browsers:

This article was just edited, click to reload
This article has been deleted on Wikipedia (Why?)

Back to homepage

Please click Add in the dialog above
Please click Allow in the top-left corner,
then click Install Now in the dialog
Please click Open in the download dialog,
then click Install
Please click the "Downloads" icon in the Safari toolbar, open the first download in the list,
then click Install
{{::$root.activation.text}}

Install Wikiwand

Install on Chrome Install on Firefox
Don't forget to rate us

Tell your friends about Wikiwand!

Gmail Facebook Twitter Link

Enjoying Wikiwand?

Tell your friends and spread the love:
Share on Gmail Share on Facebook Share on Twitter Share on Buffer

Our magic isn't perfect

You can help our automatic cover photo selection by reporting an unsuitable photo.

This photo is visually disturbing This photo is not a good choice

Thank you for helping!


Your input will affect cover photo selection, along with input from other users.