六氟化钨
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六氟化钨为氟与钨形成的无机化合物,化学式WF6。它是无色、有毒、具腐蚀性的气体,密度约为13 g/L,是空气密度的约11倍[1][2][3],也是密度最大的气体之一。[4]半导体器件制造行业通常用WF6的化学气相沉积来形成钨膜。这一层膜用于低电阻率的金属互联。[5]它是十七种已知的二元六氟化物之一。
事实速览 六氟化钨, 识别 ...
六氟化钨 | |||
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IUPAC名 Tungsten hexafluoride Tungsten(VI) fluoride | |||
识别 | |||
CAS号 | 7783-82-6 ? | ||
PubChem | 522684 | ||
SMILES |
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InChI |
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性质 | |||
化学式 | WF6 | ||
摩尔质量 | 297.830 g·mol⁻¹ | ||
外观 | 无色气体 | ||
密度 | 12.4 g/L,气态 4.56 g/cm3 (-9 °C,固态) | ||
熔点 | 2.3 °C(275 K) | ||
沸点 | 17.1 °C(290 K) | ||
溶解性(水) | 水解 | ||
结构 | |||
分子构型 | 八面体 | ||
偶极矩 | 0 | ||
危险性 | |||
欧盟编号 | 未列出 | ||
闪点 | 不可燃 | ||
相关物质 | |||
其他阴离子 | 六氯化钨 六溴化钨 | ||
其他阳离子 | 六氟化铬 六氟化钼 | ||
相关化学品 | 四氟化钨 五氟化钨 | ||
若非注明,所有数据均出自标准状态(25 ℃,100 kPa)下。 |
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