走査型プローブ顕微鏡
先端を尖らせた探針を用いて物質の表面をなぞるように動かして表面状態を拡大観察する顕微鏡 / ウィキペディア フリーな encyclopedia
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走査型プローブ顕微鏡 (そうさがたプローブけんびきょう、Scanning Probe Microscope; SPM) は、プローブを用いた顕微鏡観察手法の総称である[1]。先端を尖らせた探針を用いて、物質の表面をなぞるように動かして表面状態を拡大観察する。実際の例としては、表面を観察する際、微少な電流(トンネル電流)を利用する走査型トンネル顕微鏡(STM)、原子間力を利用する原子間力顕微鏡(AFM)をはじめ、数多くの種類がある[1]。